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什么是MEMS技術(shù)？ 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）是一種技術(shù)，其最一般的形式可以定義為使用微加工技術(shù)制造的小型化機(jī)械和機(jī)電元件（即設(shè)備和結(jié)構(gòu)）。MEMS技術(shù)傳感器是低成本、高精度的慣性傳感器，可用于各種行業(yè)應(yīng)用。
MEMS或微機(jī)電系統(tǒng)是一種基于芯片的技術(shù)，其中傳感器由一對(duì)電容板之間的懸浮質(zhì)量組成。當(dāng)傳感器傾斜時(shí)，這種懸浮質(zhì)量會(huì)產(chǎn)生電勢(shì)的差異。然后，產(chǎn)生的差值被測(cè)量為電容的變化。

MEMS技術(shù)的應(yīng)用方向 MEMS是將微傳感器、微驅(qū)動(dòng)器和微電子等技術(shù)集成到單個(gè)微芯片上，這有望成為未來最重要的技術(shù)突破之一。
這將通過利用微傳感器和微執(zhí)行器的感知和控制能力增強(qiáng)微電子的計(jì)算能力，使智能產(chǎn)品的開發(fā)成為可能。傳感器通過測(cè)量機(jī)械、熱、生物、化學(xué)、光學(xué)和磁性現(xiàn)象從環(huán)境中收集信息。然后，電子設(shè)備處理從傳感器獲得的信息，并通過一些決策能力指導(dǎo)執(zhí)行器通過移動(dòng)、定位、調(diào)節(jié)、泵送和過濾來響應(yīng)，從而控制環(huán)境以獲得某些期望的結(jié)果或目的。
此外，由于MEMS器件是使用與IC類似的批量制造技術(shù)制造的，因此可以以相對(duì)較低的成本將前所未有的功能，可靠性和復(fù)雜性放置在小型硅芯片上。MEMS技術(shù)在其預(yù)期的應(yīng)用領(lǐng)域以及器件的設(shè)計(jì)和制造方式方面都非常多樣化和豐富。MEMS已經(jīng)通過實(shí)現(xiàn)完整的片上系統(tǒng)，正在徹底改變?cè)S多產(chǎn)品類別。

MEMS技術(shù)的技術(shù)特點(diǎn) ①優(yōu)勢(shì) MEMS技術(shù)確實(shí)有其自身的一些優(yōu)勢(shì)。MEMS傳感器提供方便的功能，可與所有其他傳感器系列一起使用，而不受任何空間限制。此外，MEMS還利用非常緊湊的微型機(jī)器組件，這些組件非常小巧，每個(gè)MEMS傳感器都可以輕松安裝到您的手掌中。MEMS傳感器具有IP67密封。這是因?yàn)閭鞲衅餍枰軌虺惺?40º至+ 85ºC的極端溫度。大多數(shù)使用MEMS傳感器的行業(yè)都在極端溫度下工作。而且，這種密封使傳感器能夠暫時(shí)浸入淺水中，從而可以監(jiān)控海上和海底的俯仰和滾動(dòng)應(yīng)用。其他電解傳感器可能具有更高的精度，但通常對(duì)溫度更敏感。

這些MEMS傳感器的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是抗沖擊和振動(dòng)。MEMS傳感器在減震環(huán)境中可能不是最持久的，但MEMS傾角計(jì)在10-1000Hz時(shí)具有10grms的抗振性，加速度計(jì)具有100G的抗沖擊性。因此，這些傳感器不能用于軍事應(yīng)用等高度令人震驚的場(chǎng)景，但它們可以承受工業(yè)測(cè)量和控制，鉆井設(shè)備和一些巖土工程監(jiān)測(cè)。

②劣勢(shì) 盡管MEMS傳感技術(shù)很有用，但它們確實(shí)有一些局限性。通常，MEMS傳感器在整個(gè)溫度范圍內(nèi)具有較大的漂移。對(duì)于那些沒有溫度補(bǔ)償或加熱能力的人來說，這可能是值得關(guān)注的。而且，相對(duì)于其他傳統(tǒng)且更昂貴的傳感器，MEMS傳感器通常具有較低的精度。因此，您應(yīng)該始終確定在購買前需要測(cè)量的確切內(nèi)容。MEMS傳感器非常適合不需要最高精度的應(yīng)用，如工業(yè)自動(dòng)化、平臺(tái)調(diào)控、位置控制以及俯仰和滾動(dòng)測(cè)量。這就是為什么MEMS電解傳感器以低成本完美地適用于許多不同的領(lǐng)域。